После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач. https://oberegstroy.ru картинки по запросу бетонно строительные работы.
Таблица 3.
Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.
Методы | |||||||
Функциональное назначение пленок |
Электрохимического осаждения |
Химического восстановления |
Осаждения из паровой фазы |
анодирования |
Термического выращивания |
Вакуумного испарения |
Ионного распыления |
Проводники, резисторы | |||||||
Диэлектрические пленки, конденсаторы | |||||||
Активные приборы | |||||||
Магнитные материалы | |||||||
Сверхпроводники |
Принципиальная возможность использования метода
Широкое практическое применение
Гидродинамика
растворов полимеров, взаимодействия в цепи
При движении полимерной молекулы в растворителе сопротивление, испытываемое ею со стороны последнего, зависит от размеров и формы молекулы, поэтому изучение этого сопротивления может дать информацию о конформационных характеристиках полимерной цепи. В качестве основных явлений, используемых с этой ...
Гранулирование
Гранулирование (грануляция) — формирование твердых частиц (гранул) определенных размеров и формы с заданными свойствами. Размер гранул зависит от вида материала, способа его дальнейшей переработки и применения и составляет обычно (в мм): · для минеральных удобрений — 1-4; · для термопластов — 2-5; ...
Химические свойства щелочноземельных металлов и их соединений
Свежая поверхность Э быстро темнеет вследствие образования оксидной пленки. Пленка эта относительно плотна - с течением времени весь металл медленно окисляется. Пленка состоит из ЭО, а также ЭО2 и Э3N2. Нормальные электродные потенциалы реакций Э-2е = Э2+ равны j=-2,84В(Са), j=-2,89(Sr). Э очень ак ...
Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.