Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Металлорганические соединения
Металлорганические соединения — содержат в молекуле связь металл - углерод (М—С). Цианиды, карбиды, а в некоторых случаях и карбонилы металлов, также содержащие связь М—С, считают неорганическими соединениями. К металлоорганическим соединениям иногда относят органические соединения В, Si, As и неко ...

Фосфолипазы
Фактически различают несколько фосфолипаз группы А, они являются составной частью многих тканей и секретов живых организмов. Фосфолипазы A1 в большинстве своем - внутриклеточные ферменты, часто мембраносвязанные, не нуждаются в коферменте. Их молекулярные массы варьируют в пределах 15-90 тыс.; опти ...

Постановка задачи поиска нового технического решения
Для реактора: 1) Недостаток - большое время реакции; 2) Элемент системы, ответственный за этот недостаток - водяной холодильник; 3) Параметры этого элемента – длина, форма теплопередачи водяного холодильника; 4) Ввести в систему водяной холодильник большей длины и более сложной формы (например, шар ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории