Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Краткие сведения о проводимом процессе
Метод тонкой каталитической очистки газов от СО и С02 основан на следующих обратимых экзотермических реакциях гидрирования: Данные реакции принято называть по продукту гидрирования процессами метанирования СО и СО2 2CO + 2H2 = CH4 + CO2 CO + H2O = CO2 + H2 2CO = CO2 + C CO + H2 = H2O + C CH4 = 2H2 ...

Технологическая схема реакционного узла
В присутствии твердого фосфорнокислотного катализатора в промышленности полимеризуют пропилен, изобутилен, смеси бутиленов с пропиленом и бутиленов с амиленами – для производства триммера и тетрамера пропилена, диизобутилена, сополимера пропилена и т. д. Обычно кислотной полимеризации подвергают фр ...

Устройство анализируемого прибора
1. Назначение. Универсальный иономер ЭВ-74 предназначается для определения в комплекте с ионоселективными электродами активности одно- и двухвалентных анионов и катионов (величины pX) в водных растворах, а также для измерения окислительно-восстановительных потенциалов (величины Еh) в этих же раство ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории