Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Свойства и применение сополимеров этилена
Этилен образует сополимеры с большинством ненасыщенных соединений в присутствии как радикальных, так и ионных инициаторов. Но в технике нашли применение лишь некоторые сополимеры, обеспечивающие получение материалов с определенным комплексом свойств более экономичными способами. Сополимеры этилена ...

Преимущества в использовании дизельного топлива по сравнению с бензином
Низкий расход и экономия топлива. Дизельное топливо расходуется меньше, чем бензин, ориентировочно на четверть. Основной плюс дизеля, особенно важный в условиях экономического кризиса – это экономия топлива. Дело в том, что у дизельного двигателя КПД достигает 36 % и даже выше, в то время как у бен ...

Механизм и скорость электродной реакции
Скорость электродных процессов следует рассматривать, используя общие закономерности обычных гетерогенных химических реакций, совершающихся на поверхности раздела твердой и жидкой фаз. Назовем электродным процессом сумму всех изменений, происходящих во времени на поверхности электрода при потенциал ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории