Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Циклизация
2. Алкилирование В процессе висбрекинга в значительной степени протекает деалкилирование всех фракций тяжелого остатка, что в основном определяет выход легких продуктов. Конверсии подвергаются преимущественно газойлевые фракции, особенно наиболее тяжелые. Висбрекинг легких газойлевых фракций, как н ...

Сульфат железа
Сульфат железа(II), железный купорос, FeSO4 — соль серной кислоты и 2-валентного железа. Твёрдость — 2. В химии железным купоросом называют кристаллогидрат сульфата железа(II). Кристаллы светло-зелёного цвета. Применяется в текстильной промышленности, в сельском хозяйстве как фунгицид, для приготов ...

Перфторуглеродные эмульсии
Другое направление создания «искусственной крови» – создание синтетической модели крови на основе перфторорганических соединений. Уникальные свойства ПФУ – способность растворять кислород и углекислоту, высокая инертность – послужили основанием для создания кислородпереносящих кровезаменителей имен ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории