Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы

Функциональное назначение пленок

Электрохимического осаждения

Химического восстановления

Осаждения из паровой фазы

анодирования

Термического выращивания

Вакуумного испарения

Ионного распыления

Проводники, резисторы

Диэлектрические пленки, конденсаторы

Активные приборы

Магнитные материалы

Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Методы синтеза оксимов
1. Превращение димеров ациклических нитрозосоединений в оксимы. Хотя деполимеризацию димеров ациклических нитрозосоединений в соответствующие оксимы можно провести и без облучения (обработка сухим хлористым водородом), однако под действием света реакция протекает быстрее: Раствор, содержащий 5,0 г ...

Фотоколориметрический метод анализа
Интенсивность окраски растворов можно измерять различными методами. Среди них выделяют субъективные (визуальные) методы колориметрии и объективные, то есть фотоколориметрические. Визуальными называют такие методы, при которых оценку интенсивности окраски испытуемого раствора делают невооруженным гл ...

Приготовление и проработка электролита хромирования
Для хромирования мы приготавливаем стандартный электролит следующего состава: CrO3 – 250 г/л, H2SO4 – 2,5 г/л. Для этого в мерную колбу на 1 л добавляем требуемое количество CrO3 и серной кислоты, добавляем некоторое количество дистиллированной воды, размешиваем и доводим до метки 1 л. Для наибольш ...

Идеи алхимии


Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Категории

Copyright © 2018 - All Rights Reserved - www.chemitradition.ru
Copyright © 2020 - All Rights Reserved - www.chemitradition.ru