Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Основное основного технологического оборудования
В процессе производства серной кислоты используют следующее технологическое оборудование: 1. Промывная башня. 2. Промывная башня с насадкой. 3. Мокрый фильтр. 4. Сушильная башня. 5. Турбокомпрессор. 6. Трубчатый теплообменник. 7. Контактный аппарат. 8. Трубчатый холодильник газа. 9. Абсорбционная б ...

Требования к качеству дизтоплива в Европе и США
Требования к качеству автомобильного топлива в Европе и США устанавливается Всемирной топливной хартией с 1998 года, которые разработаны представителями мировых производителей автомобилей - Ассоциациями Америки (AAMA), западной Европы (АСЕА), Японии (JAMA) и ассоциацией двигателестроителей (ЕМА); п ...

Воздействие ПАВ на окружающую среду
Несмотря на то, что беспокойство о влиянии ПАВ на окружающую среду было законодательно оформлено более 20 лет назад, только совсем недавно этот фактор стал основным требованием, определяющим возможность использования ПАВ в различных композициях. Огромное количество ПАВ, использующихся в быту и пром ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории