Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Александр Парфирьевич Бородин ( 31 октября 1834 - 27 февраля 1887)
А. П. Бородин родился 31 октября 1834 г. в Петербурге. Он получил прекрасное домашнее образование. Уже в раннем возрасте он хорошо владел французским, немецким и английским языками, увлекался естественными науками, ботаникой и зоологией, но особенно его привлекала химия. В 1850 г. А. П. Бородин бле ...

Методика выявления интервала ненадежности
Для выявления интервала ненадежности готовят серию растворов нитрата кобальта, снижая концентрацию Co2+ до тех пор, пока индикаторная бумага после погружения в раствор перестанет изменять желтую окраску на красную, т.е. до исчезновения сигнала. Полученные образцы бумаги располагают на фоне белого л ...

Определение содержания крахмала в ячмене
Крахмал самая важная составная часть экстракта ячменя, определяющая его производственную и экономическую ценность. Хороший пивоваренный ячмень должен содержать 58–65 % крахмала. Обычно, чем больше в ячмене содержится крахмала, тем выше выход экстракта. Разница между содержанием крахмала в ячмене и ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории