Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Информационный анализ
Висбрекинг – особая разновидность термического крекинга, термодеструктивный процесс превращения тяжелого нефтяного сырья в жидкие, газообразные и твердые продукты. Сырьем процесса являются, главным образом, гудроны, полугудроны и мазуты. Эти нефтяные остатки характеризуются сложным химическим соста ...

Выводы
1) В работе изучены основные представления о электрохимических системах, рассмотрены классификация электродов и классификация самих систем. 2) Рассмотрены равновесные диаграммы потенциал-pH, изучены основные принципы их построения и анализа. 3) Изучены поляризационные кривые и поляризационные диагр ...

Органические кислоты, их разновидности
Органические кислоты – соединения алифатического или ароматического ряда, характеризующиеся наличием в молекуле одной или нескольких карбоксильных групп. Алифатические кислоты: - летучие (муравьиная, уксусная, масляная и др.); - нелетучие (гликолевая, яблочная, лимонная, щавелевая, молочная, пирови ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории