После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.
Таблица 3.
Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.
Методы | |||||||
Функциональное назначение пленок |
Электрохимического осаждения |
Химического восстановления |
Осаждения из паровой фазы |
анодирования |
Термического выращивания |
Вакуумного испарения |
Ионного распыления |
Проводники, резисторы | |||||||
Диэлектрические пленки, конденсаторы | |||||||
Активные приборы | |||||||
Магнитные материалы | |||||||
Сверхпроводники |
Принципиальная возможность использования метода
Широкое практическое применение
Получение эмульсии
Получают эмульсии главным образом путем механического диспергирования (встряхиванием, энергичным перемешиванием с помощью миксера или гомогенизатора, воздействием ультразвука), а также путем выдавливания вещества дисперсной фазы через тонкие отверстия в дисперсионную среду под большим давлением. Об ...
Природные
ПАВ
К ПАВ природного происхождения прежде всего относятся полярные липиды. Они широко распространены в живых организмах. В биологических системах поверхностно-активные вещества выполняют по сути те же функции, что и синтетические ПАВ в технических системах. Так, например, они помогают организму преодол ...
Основные свойства полиолефинов
Таблица 1. Основные свойства полиэтилена Свойства Единица измерения ПЭНП (ПЭВД) ПЭВП СВМПЭ ПЭНД ПЭСД Плотность кг/м3 918-935 945-955 960-970 940 Температура плавления °С 105-115 130-135 130-135 125-135 Температура размягчения °С 60-65 80-90 80-100 110-120 Мол. масса промышленных марок, ·10-4 2-5 7- ...
Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.