Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Особенности автоматизации процесса
При выборе приборов, обеспечивающих контроль и регулирование параметров процесса, руководствуются следующими принципами: -приборы должны обеспечивать необходимую точность измерений, быть быстродействующими и надежными при измерении и регулировании; -показывающие приборы должны располагаться так, чт ...

Проверка эффективности ультразвукового распыления водных растворов
С целью выбора условий, обеспечивающих достаточно высокую производительность ультразвукового распыления реэкстракта урана, было изучено влияние условий распыления на эффективность этого процесса. Эксперименты проводились на воде и растворах уранилнитрата. Во всех опытах использовался УЗ распылитель ...

Постановка задачи поиска нового технического решения
Для реактора: 1) Недостаток - большое время реакции; 2) Элемент системы, ответственный за этот недостаток - водяной холодильник; 3) Параметры этого элемента – длина, форма теплопередачи водяного холодильника; 4) Ввести в систему водяной холодильник большей длины и более сложной формы (например, шар ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории