Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Спектральный анализ
Спектральный анализ как метод качественного и количественного определения состава веществ основан на исследовании их спектров испускания, поглощения, отражения и люминесценции. В зависимости от цели исследования, свойств анализируемого вещества спектральный анализ подразделяют на ряд самостоятельны ...

Титрование расворов меди , индия и селена при их совместном присутствии
Согласно литературным данным [32], Se (IV) реагирует с ДДТК-Na, образуя малорастворимое в воде соединение Se(ДДТК)4 светло-желтого цвета. Его осаждение происходит только в кислой среде (pH < 5). In (III) можно осадить ДДТК-Na в среде от pH 4 до 5 в присутствии тартрата – K, Na, препятствующего г ...

Определение затрат на проведение исследования
Смета затрат на проведение исследования включает следующие расходы: 1. материальные затраты; 2. расходы на оплату труда; 3. отчисления в социальные фонды; 4. амортизационные отчисления; 5. прочие накладные расходы [28]. Затраты на основные и вспомогательные материалы, израсходованные в процессе исс ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории