Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Основные свойства полиолефинов
Таблица 1. Основные свойства полиэтилена Свойства Единица измерения ПЭНП (ПЭВД) ПЭВП СВМПЭ ПЭНД ПЭСД Плотность кг/м3 918-935 945-955 960-970 940 Температура плавления °С 105-115 130-135 130-135 125-135 Температура размягчения °С 60-65 80-90 80-100 110-120 Мол. масса промышленных марок, ·10-4 2-5 7- ...

Понятие о химических реакциях
Химические свойства веществ выявляются в разнообразных химических реакциях. Превращения веществ, сопровождающиеся изменением их состава и (или) строения и называются химическими реакциями . Часто встречается и такое определение: химической реакцией называется процесс превращения исходных веществ (р ...

Гавриил Гавриилович Густавсон (1842 —1908)
Несколько особняком в истории органической химии стоит монументальная фигура выдающегося русского химика-органика Г. Г. Густавсона. Среднее образование он получил в 3-й Петербургской гимназии. В 1865г. Он окончил естественное отделение физико-математического факультета Петербургского университета с ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории