После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.
Таблица 3.
Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.
|
Методы | |||||||
|
Функциональное назначение пленок |
Электрохимического осаждения |
Химического восстановления |
Осаждения из паровой фазы |
анодирования |
Термического выращивания |
Вакуумного испарения |
Ионного распыления |
|
Проводники, резисторы | |||||||
|
Диэлектрические пленки, конденсаторы | |||||||
|
Активные приборы | |||||||
|
Магнитные материалы | |||||||
|
Сверхпроводники | |||||||
Принципиальная возможность использования метода
Широкое практическое применение
Классические методы синтеза замещенных пирролов
Синтез Кнорра наиболее общий и широко используемый метод получения пирролов, где происходит образование связей C-N и C-C в результате реакции аминогруппы и метиленовой группы с карбонильной [13]. Он заключается в конденсации a-аминокетонов и a-амино-b-кетоэфиров с кетонами или кетоэфирами в присутс ...
Аффинаж палладия
Палладиевый раствор упаривается в котлах при температуре 110–120 оС. В раствор постепенно вводится аммиак. Перед введением аммиака палладий в растворе находится в виде тетрахлоропалладата(II) аммония (NH4)2[PdCl4]. В том случае, если аммиак вводится в избытке, то должна протекать конечная реакция: ...
Преимущества в использовании дизельного топлива по сравнению с бензином
Низкий расход и экономия топлива. Дизельное топливо расходуется меньше, чем бензин, ориентировочно на четверть. Основной плюс дизеля, особенно важный в условиях экономического кризиса – это экономия топлива. Дело в том, что у дизельного двигателя КПД достигает 36 % и даже выше, в то время как у бен ...
Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.