Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Сульфирование
Введение сульфо – группы SO2OH в молекулу орг. соединения; в широком смысле сульфирование – введение группы SO2X (X = ОН, ONa, OAlk, OAr, Hal, NAlk2 и т.п.). О введении группы SO3H с образованием связей О–S (О – сульфирование, сульфатирование, сульфоэтерификация). Процесс, обратный сульфированию (у ...

Влияние вибрации на условия труда в химической лаборатории
Тело человека рассматривается как сочетание масс с упругими элементами, имеющими собственные частоты, которые для плечевого пояса, бедер и головы относительно опорной поверхности (положение "стоя") составляют 4~6 Гц, головы относительно плеч (положение "сидя") – 25-30 Гц. Для бо ...

Устройство и расчет контактных осветлителей
Контактные осветлители рекомендуется использовать без поддерживающих слоев при промывке водой и с поддерживающими слоями при водовоздушной промывке. Контактный осветлитель КО-1 представляет собой резервуар, заполненный загрузкой из песка и гравия (рис. 13.1). Песок не должен Рис. 13.1. Контактные о ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории