Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Регуляторная функция
Многие (хотя и далеко не все) гормоны являются белками – например, все гормоны гипофиза и гипоталамуса, инсулин и др. Еще одним примером белков, выполняющих эту функцию, могут служить внутриклеточные белки, регулирующие работу генов. Многие белки могут выполнять несколько функций. Макромолекулы бел ...

Измерения
В работе исследовалась температурная зависимость рассеяния Мандельштама - Бриллюэна в пиколине. Измерения производились в диапазоне температур от 160 К до 300 К. Выбор нижней границы обусловлен тем, что при дальнейшем охлаждении наблюдалось (даже визуально) резкое увеличение упругой линии, на фоне ...

Основное оборудование
Емкости и резервуары Нефть и нефтепродукты, в том числе и сжиженные углеводородные газы, хранят в специальных емкостях и резервуарах. Их изготавливают из спокойной мартеновской стали, они имеют цилиндрическую или сферическую форму. Все резервуары оборудованы указателями для отбора проб, незамерзающ ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории