После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.
Таблица 3.
Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.
|
Методы | |||||||
|
Функциональное назначение пленок |
Электрохимического осаждения |
Химического восстановления |
Осаждения из паровой фазы |
анодирования |
Термического выращивания |
Вакуумного испарения |
Ионного распыления |
|
Проводники, резисторы | |||||||
|
Диэлектрические пленки, конденсаторы | |||||||
|
Активные приборы | |||||||
|
Магнитные материалы | |||||||
|
Сверхпроводники | |||||||
Принципиальная возможность использования метода
Широкое практическое применение
Диаграммы состояния двухкомпонентных равновесных систем
Диаграммой фазового равновесия называется графическое изображение соотношений между параметрами состояния. Фигуративная точка – каждая точка на диаграмме состояния, которая определяет численные значения параметров, характеризующих данное состояние системы. В двухкомпонентной системе в твердом виде ...
Формилирование фенолов
Формилирование – это введение формильной группы в ароматическое кольцо. Реакция Гаттермана. Попытки введения формильной группы в ароматическое кольцо фенолов, нафтолов и их простых эфиров с помощью СО и HCl (реакция Гаттермана-Коха) оказались безуспешными. Поэтому Гаттерман предложил метод введения ...
Двигательная функция
Все известные способы движения живых организмов основаны на работе соответствующих белков. Так, сокращение мышц обеспечивают мышечные белки актин и миозин. В поперечно-полосатых мышцах имеются пучки актиновых и миозиновых нитей, которые называются тонкими и толстыми филаментами. При возбуждении мыш ...
Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.