После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.
Таблица 3.
Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.
|
Методы | |||||||
|
Функциональное назначение пленок |
Электрохимического осаждения |
Химического восстановления |
Осаждения из паровой фазы |
анодирования |
Термического выращивания |
Вакуумного испарения |
Ионного распыления |
|
Проводники, резисторы | |||||||
|
Диэлектрические пленки, конденсаторы | |||||||
|
Активные приборы | |||||||
|
Магнитные материалы | |||||||
|
Сверхпроводники | |||||||
Принципиальная возможность использования метода
Широкое практическое применение
Применение поливинилпирролидона в медицине
ПВП нашел широкое применение в медицине благодаря своей хорошей растворимости в воде, отсутствию токсичности и высокой склонности к комплексообразованию. В зависимости от величины молекулярной массы, он применяется в качестве основы кровезаменяющих растворов, для дезинтоксикации организма, для прол ...
Окисление аминов
При окислении первичных ароматических аминов образуются в зависимости от условий различные продукты. При окислении первичных ароматических аминов кислотой Каро аминогруппа превращается в нитрозогруппу. У аминов жирного ряда процесс протекает более сложно, так как первоначально образующиеся продукты ...
Характеристика основных алкалоидов
Алкалоиды, составляющие основные структурные классы – пиридиновые (никотин), пиперидиновые (лобелин), тропановые (гиосциамин), хинолиновые (хинин), изохинолиновые (морфин), индольные (псилоцибин, активное начало мексиканских галлюциногенных грибов, резерпин и стрихнин), имидазольные (пилокарпин), с ...
Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.