После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.
Таблица 3.
Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.
|
Методы | |||||||
|
Функциональное назначение пленок |
Электрохимического осаждения |
Химического восстановления |
Осаждения из паровой фазы |
анодирования |
Термического выращивания |
Вакуумного испарения |
Ионного распыления |
|
Проводники, резисторы | |||||||
|
Диэлектрические пленки, конденсаторы | |||||||
|
Активные приборы | |||||||
|
Магнитные материалы | |||||||
|
Сверхпроводники | |||||||
Принципиальная возможность использования метода
Широкое практическое применение
Основное основного технологического оборудования
В процессе производства серной кислоты используют следующее технологическое оборудование: 1. Промывная башня. 2. Промывная башня с насадкой. 3. Мокрый фильтр. 4. Сушильная башня. 5. Турбокомпрессор. 6. Трубчатый теплообменник. 7. Контактный аппарат. 8. Трубчатый холодильник газа. 9. Абсорбционная б ...
Требования к качеству дизтоплива в Европе и США
Требования к качеству автомобильного топлива в Европе и США устанавливается Всемирной топливной хартией с 1998 года, которые разработаны представителями мировых производителей автомобилей - Ассоциациями Америки (AAMA), западной Европы (АСЕА), Японии (JAMA) и ассоциацией двигателестроителей (ЕМА); п ...
Воздействие
ПАВ на окружающую среду
Несмотря на то, что беспокойство о влиянии ПАВ на окружающую среду было законодательно оформлено более 20 лет назад, только совсем недавно этот фактор стал основным требованием, определяющим возможность использования ПАВ в различных композициях. Огромное количество ПАВ, использующихся в быту и пром ...
Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.