После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.
Таблица 3.
Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.
|
Методы | |||||||
|
Функциональное назначение пленок |
Электрохимического осаждения |
Химического восстановления |
Осаждения из паровой фазы |
анодирования |
Термического выращивания |
Вакуумного испарения |
Ионного распыления |
|
Проводники, резисторы | |||||||
|
Диэлектрические пленки, конденсаторы | |||||||
|
Активные приборы | |||||||
|
Магнитные материалы | |||||||
|
Сверхпроводники | |||||||
Принципиальная возможность использования метода
Широкое практическое применение
Реакция с
ацетилацетоном и диметиламинобензальдегидом
Раствор субстанции в смеси ацетилацетона и раствора натрия гидроксида разведенного нагревают на водяной бане, охлаждают и прибавляют раствор диметиламинобензальдегида и еще раз нагревают. Охлаждают и прибавляют воду - появляется интенсивное синее окрашивание. 3. Реакция с раствором калия йодида йод ...
Ориентационная вытяжка волокон
Упрочнение полимеров обычно достигается путем создания в них такой структуры, которая обеспечивает более равномерное распределение внешней нагрузки по макромолекулам. Для гибкоцепных полимерных волокон основным способом упрочнения является ориентационная вытяжка, заключающаяся в растяжении волокон ...
Ацетаминопроизводные ароматического ряда. Общая характеристика
Эта группа лекарственных препаратов является производными ацетанилида: – NH
–
C
–
CH
3 O Ацетанилид применялся в медицинской практике как жаропонижающее средство под названием антифебрин, но вследствие высокой токсичности потерял свое значение. По химической структуре и фармакологическому действию ...
Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.