После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.
Таблица 3.
Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.
|
Методы | |||||||
|
Функциональное назначение пленок |
Электрохимического осаждения |
Химического восстановления |
Осаждения из паровой фазы |
анодирования |
Термического выращивания |
Вакуумного испарения |
Ионного распыления |
|
Проводники, резисторы | |||||||
|
Диэлектрические пленки, конденсаторы | |||||||
|
Активные приборы | |||||||
|
Магнитные материалы | |||||||
|
Сверхпроводники | |||||||
Принципиальная возможность использования метода
Широкое практическое применение
Определение характера ПАВ
Приготовление растворов ПАВ различных концентраций. Готовлю исходный концентрированный раствор ПАВ. Взвешиваю стакан (250 мл) на технических весах и добавляю в него 2 г ПАВ с помощью пипетки. Вливаю в стакан 100 мл воды. Стеклянной мешалкой помешиваю раствор до растворения ПАВ, после чего довожу об ...
Характеристика производимой продукции
Готовым продуктом производства является винилиденхлорид-сырец, который должен соответствовать требованиям технологии, указанным в таблице. Таблица 1− Требования, предъявляемые к готовой продукции Наименование показателей Норма 1 Внешний вид, цвет Бесцветная прозрачная жидкость без посторонних ...
Гидродинамика
растворов полимеров, взаимодействия в цепи
При движении полимерной молекулы в растворителе сопротивление, испытываемое ею со стороны последнего, зависит от размеров и формы молекулы, поэтому изучение этого сопротивления может дать информацию о конформационных характеристиках полимерной цепи. В качестве основных явлений, используемых с этой ...
Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.