Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Определение характера ПАВ
Приготовление растворов ПАВ различных концентраций. Готовлю исходный концентрированный раствор ПАВ. Взвешиваю стакан (250 мл) на технических весах и добавляю в него 2 г ПАВ с помощью пипетки. Вливаю в стакан 100 мл воды. Стеклянной мешалкой помешиваю раствор до растворения ПАВ, после чего довожу об ...

Характеристика производимой продукции
Готовым продуктом производства является винилиденхлорид-сырец, который должен соответствовать требованиям технологии, указанным в таблице. Таблица 1− Требования, предъявляемые к готовой продукции Наименование показателей Норма 1 Внешний вид, цвет Бесцветная прозрачная жидкость без посторонних ...

Гидродинамика растворов полимеров, взаимодействия в цепи
При движении полимерной молекулы в растворителе сопротивление, испытываемое ею со стороны последнего, зависит от размеров и формы молекулы, поэтому изучение этого сопротивления может дать информацию о конформационных характеристиках полимерной цепи. В качестве основных явлений, используемых с этой ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории