Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Порошки
Порошками называются высококонцентрированные дисперсные системы, в которых дисперсной фазой являются твердые частицы, а дисперсионной средой — воздух или другой газ. Условное обозначение: Т/Г . В порошках частицы дисперсной фазы находятся в контакте друг с другом. Традиционно к порошкам относят бол ...

Диаграммы состояния двухкомпонентных равновесных систем
Диаграммой фазового равновесия называется графическое изображение соотношений между параметрами состояния. Фигуративная точка – каждая точка на диаграмме состояния, которая определяет численные значения параметров, характеризующих данное состояние системы. В двухкомпонентной системе в твердом виде ...

Практическое значение сидерохромов
Способность отдельных микроорганизмов к биосинтезу сидерохромов нашла свое применение в сельском хозяйстве. Так, на сегодняшний день создан биопрепарат на основе живых клеток штаммов бактерий рода Pseudomonas, используемых в качестве средств биологической защиты растений. Бактерии, стимулирующие ро ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории