Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Заключение

Заключение

После рассмотрения различных химических методов получения тонких пленок можно сказать, что выбор способа получения пленки зависит от типа требуемой пленки, от ограничений в выборе подложек и часто, особенно в случае многократного осаждения, от общей совместимости различных процессов, протекающих при применении этого метода. В таблице 3 подведен итог по вопросу применимости обсуждаемых методов в микроэлектронике. Методам вакуумного испарения и ионного распыления традиционно отдается предпочтение в силу их универсальности. Однако нельзя не учитывать потенциальной пользы химических методов, поскольку использование их может оказаться более дешевым средством к достижению поставленных задач.

Таблица 3.

Использование различных методов получения тонких пленок в микроэлектронике.

Методы
Функциональное назначение пленок	Электрохимического осаждения	Химического восстановления	Осаждения из паровой фазы	анодирования	Термического выращивания	Вакуумного испарения	Ионного распыления
Проводники, резисторы
Диэлектрические пленки, конденсаторы
Активные приборы
Магнитные материалы
Сверхпроводники

Принципиальная возможность использования метода

Широкое практическое применение

Еще по теме:

Александр Ерминингельдович Арбузов. ( 1877-1968 г)
А. Е. Арбузов родился 30 августа 1877г. в селе Арбузовом-Баране, Казанской губернии. По окончании 1-й Казанской классической гимназии Е 1896 г. А. Е. Арбузов поступил на естественное отделение физико-математического факультета Казанского университета. По окончании университета в 1900 г. он был пред ...

Прием, хранение и выдача винилиденхлорида-сырца
Винилиденхлорид-сырец хранится на складе винилиденхлорида в корпусе 9-11 в емкости поз.0112,3 под азотной подушкой. Емкость поз.0112,3 представляет собой горизонтальный цилиндрический аппарат вместимостью 63 м3. Уровень в емкости поз.0112,3 не более 80 % контролируется по прибору LRAН-0112,3. При д ...

Описание технологической схемы процесса производства этилового спирта
Технологическая схема синтеза производства этилового спирта Технологические схемы синтеза этанола различаются способами получения водяного пара и системами утилизации тепла. В наиболее совершенных схемах водяной пар для синтеза получают путем рецикла воды после отделения этанола и использованием во ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Заключение

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории