Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Метод газофазного осаждения

Метод газофазного осаждения

Страница 2

Контроль за содержанием кислорода

Испарение

AlCl3

Получение покрытия из AlN

NH3

H2

AlCl3

(тв.)

Контроль свойств покрытия

Рис. 1. Технологическая схема получения покрытия из AlN

Таблица.1 Пленочные покрытия, которые модно получать с помощью реакций в паровой фазе.

Метод

(основной тип реакции)

Материал пленочного покрытия

(исходные материалы)

Диспропорционирование

(A + AB2 ↔ 2AB)

Al(AlI3); Ge(GeI2); Si(SiI2); соединения элементов III-IV групп (иодиды)

Полимеризация

(AB → nAB)

Полимеры метилметакрилатов, стирола, дивенилбензола, бутадиена, акролиена, эпоксидных смол, аллиглицидиловых эфиров (электроннолучевое экспонирование, фотолиз, тлеющий разряд)

Восстановление

(AXH2→ A + HX)

Al(AlCl3); Ti(TiBr4); Sn(SnCl4); Ta(TaCl5); Nb(NbCl5); Cr(CrCl2); Si(SiHS3 или SiCl4); Ge(GeCl4)

Окисление

(AXH2O → AO + HX)

Al2O3(AlCl3); TiO2(TiCl4); Ta2O5(TaCl5); SnO2(SnCl4)

Страницы: 1 2 3

Еще по теме:

Защита окружающей среды как стимул поиска новых безопасных поверхностно-активных веществ
Все основные виды ПАВ существуют вокруг нас десятилетия. Способы их производства оптимизированы, а физико-химические свойства относительно хорошо изучены. Наряду с постоянной задачей поиска путей удешевления производства существующих ПАВ, на развитие химии ПАВ в последние годы оказывает влияние рын ...

Галогенирование фенолов
Галогенирование фенолов не требует катализа кислотами Льюиса (FeCl3, FeBr3, AlCl3 и др.) и легко осуществляется под действием молекулярного галогена. Галогенирование фенола молекулярным бромом или хлором в полярной среде практически невозможно остановить на стадии моногалогенирования, поскольку реа ...

Материальный баланс колонны и определение рабочего флегмового числа
Производительность колонны по дистилляту Р и кубовому остаткуW определяем из уравнений материального баланса колонны: F=Р+W [1. Ф-9.4, стр. 249] где F – производительность по исходной смеси; P - производительность по дистеляту; W – производительность по кубовому остатку F*0,25=P*0,91+W*0,032 где 0, ...

Идеи алхимии


Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Категории

Copyright © 2018 - All Rights Reserved - www.chemitradition.ru
Copyright © 2026 - All Rights Reserved - www.chemitradition.ru