Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Метод газофазного осаждения

Метод газофазного осаждения

Страница 2

Контроль за содержанием кислорода

Испарение

AlCl3

Получение покрытия из AlN

NH3

H2

AlCl3

(тв.)

Контроль свойств покрытия

Рис. 1. Технологическая схема получения покрытия из AlN

Таблица.1 Пленочные покрытия, которые модно получать с помощью реакций в паровой фазе.

Метод

(основной тип реакции)

Материал пленочного покрытия

(исходные материалы)

Диспропорционирование

(A + AB2 ↔ 2AB)

Al(AlI3); Ge(GeI2); Si(SiI2); соединения элементов III-IV групп (иодиды)

Полимеризация

(AB → nAB)

Полимеры метилметакрилатов, стирола, дивенилбензола, бутадиена, акролиена, эпоксидных смол, аллиглицидиловых эфиров (электроннолучевое экспонирование, фотолиз, тлеющий разряд)

Восстановление

(AXH2→ A + HX)

Al(AlCl3); Ti(TiBr4); Sn(SnCl4); Ta(TaCl5); Nb(NbCl5); Cr(CrCl2); Si(SiHS3 или SiCl4); Ge(GeCl4)

Окисление

(AXH2O → AO + HX)

Al2O3(AlCl3); TiO2(TiCl4); Ta2O5(TaCl5); SnO2(SnCl4)

Страницы: 1 2 3

Еще по теме:

Амиды
Амидами называют производные кислот, в которых гидроксильная группа заменена на аминогруппу. Амиды можно рассматривать также как ацильные производные аминов. По номенклатуре IUPAC названия амидов строятся из названия соответствующей кислоты заменой окончания -овая кислота на -амид: Большинство амид ...

Диазотирование
Способ получения ароматических диазосоединений, заключающийся обычно в действии NaNO2 на первичные ароматические амины в присутствии минеральной к-ты НХ: Диазотирование проводят в воде, концентрированных кислотах, реже – в неводных средах. Поскольку реакция экзотермична, а диазосоединения при нагре ...

Химические свойства щелочноземельных металлов и их соединений
Свежая поверхность Э быстро темнеет вследствие образования оксидной пленки. Пленка эта относительно плотна - с течением времени весь металл медленно окисляется. Пленка состоит из ЭО, а также ЭО2 и Э3N2. Нормальные электродные потенциалы реакций Э-2е = Э2+ равны j=-2,84В(Са), j=-2,89(Sr). Э очень ак ...

Идеи алхимии


Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Категории

Copyright © 2018 - All Rights Reserved - www.chemitradition.ru
Copyright © 2026 - All Rights Reserved - www.chemitradition.ru