Метод газофазного осаждения
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 1. Технологическая схема получения покрытия из AlN
Таблица.1 Пленочные покрытия, которые модно получать с помощью реакций в паровой фазе.
|
Метод (основной тип реакции) |
Материал пленочного покрытия (исходные материалы) |
|
Диспропорционирование (A + AB2 ↔ 2AB) |
Al(AlI3); Ge(GeI2); Si(SiI2); соединения элементов III-IV групп (иодиды) |
|
Полимеризация (AB → nAB) |
Полимеры метилметакрилатов, стирола, дивенилбензола, бутадиена, акролиена, эпоксидных смол, аллиглицидиловых эфиров (электроннолучевое экспонирование, фотолиз, тлеющий разряд) |
|
Восстановление (AXH2→ A + HX) |
Al(AlCl3); Ti(TiBr4); Sn(SnCl4); Ta(TaCl5); Nb(NbCl5); Cr(CrCl2); Si(SiHS3 или SiCl4); Ge(GeCl4) |
|
Окисление (AXH2O → AO + HX) |
Al2O3(AlCl3); TiO2(TiCl4); Ta2O5(TaCl5); SnO2(SnCl4) |
Еще по теме:
Классификация мембран
Мембраны, использующиеся в различных мембранных процессах можно классифицировать по разным признакам. Наиболее пpoстой является классификация всех мембран на природные (биологические) и синтетические, которые, в свою очередь, подразделяются на различные подклассы исходя из свойств материала (Рис. 1 ...
Выводы
1. численным методом получены оценки предела определения и предела обнаружения Со(II) с индикаторной бумагой РИБ-Со-Тест; 2. на основе метода цветометрии и визуального восприятия окраски тест-образцов из четырех цветовых шкал выбрана шкала с коэффициентом геометрической прогрессии q = 2; 3. установ ...
Адсорбция
поверхностно-активных веществ на межфазных границах
Поверхностно-активные вещества характеризуются ярко выраженной способностью адсорбироваться на поверхностях и на межфазных границах. Термин «межфазная граница» принято относить к границе между двумя несмешивающимися фазами, термин «поверхность» указывает на то, что одной из фаз является газ, как пр ...
Идеи алхимии
Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.
Категории
- Главная
- Белки и аминокислоты
- Лечебные свойства воды
- Радиоактивный анализ
- Элементоорганические соединения
- Методы органического синтеза
- Железо и его роль
- Карта сайта