Метод газофазного осаждения
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 1. Технологическая схема получения покрытия из AlN
Таблица.1 Пленочные покрытия, которые модно получать с помощью реакций в паровой фазе.
|
Метод (основной тип реакции) |
Материал пленочного покрытия (исходные материалы) |
|
Диспропорционирование (A + AB2 ↔ 2AB) |
Al(AlI3); Ge(GeI2); Si(SiI2); соединения элементов III-IV групп (иодиды) |
|
Полимеризация (AB → nAB) |
Полимеры метилметакрилатов, стирола, дивенилбензола, бутадиена, акролиена, эпоксидных смол, аллиглицидиловых эфиров (электроннолучевое экспонирование, фотолиз, тлеющий разряд) |
|
Восстановление (AXH2→ A + HX) |
Al(AlCl3); Ti(TiBr4); Sn(SnCl4); Ta(TaCl5); Nb(NbCl5); Cr(CrCl2); Si(SiHS3 или SiCl4); Ge(GeCl4) |
|
Окисление (AXH2O → AO + HX) |
Al2O3(AlCl3); TiO2(TiCl4); Ta2O5(TaCl5); SnO2(SnCl4) |
Еще по теме:
Экстракционно-фотометрические методы определения палладия
Определение палладия с помощью хлорида олова (II) На следующем этапе были опробованы методы экстракционно-фотометрического метода анализа палладия с использованием хлорида олова (II). В ходе эксперимента были использованы два стандартных раствора палладия, с концентрацией 10 и 100 мкг/мл. Данные дл ...
Алексей Евгеньевич Чичибабин (1871—1945)
Одним из наиболее выдающихся ранних сотрудников Н. Я. Демьянова является Алексей Евгеньевич Чичибабин, впоследствии химик с мировым именем. Известность А. Е. Чичибабина как выдающегося химика начинается после его выступления по вопросу о существовании свободных радикалов, открытых в 1900 г. америка ...
Характеристика свойств нобелия
В 1955 г. была заполнена 101-я клетка таблицы Менделеева. Следующим, естественно, должен был стать синтез 102-го элемента. В 1956 г. к этой работе почти одновременно приступили исследователи из Нобелевского института физики в Стокгольме (в группе работали английские, шведские и американские ученые) ...
Идеи алхимии
Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.
Категории
- Главная
- Белки и аминокислоты
- Лечебные свойства воды
- Радиоактивный анализ
- Элементоорганические соединения
- Методы органического синтеза
- Железо и его роль
- Карта сайта