Метод газофазного осаждения
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 1. Технологическая схема получения покрытия из AlN
Таблица.1 Пленочные покрытия, которые модно получать с помощью реакций в паровой фазе.
|
Метод (основной тип реакции) |
Материал пленочного покрытия (исходные материалы) |
|
Диспропорционирование (A + AB2 ↔ 2AB) |
Al(AlI3); Ge(GeI2); Si(SiI2); соединения элементов III-IV групп (иодиды) |
|
Полимеризация (AB → nAB) |
Полимеры метилметакрилатов, стирола, дивенилбензола, бутадиена, акролиена, эпоксидных смол, аллиглицидиловых эфиров (электроннолучевое экспонирование, фотолиз, тлеющий разряд) |
|
Восстановление (AXH2→ A + HX) |
Al(AlCl3); Ti(TiBr4); Sn(SnCl4); Ta(TaCl5); Nb(NbCl5); Cr(CrCl2); Si(SiHS3 или SiCl4); Ge(GeCl4) |
|
Окисление (AXH2O → AO + HX) |
Al2O3(AlCl3); TiO2(TiCl4); Ta2O5(TaCl5); SnO2(SnCl4) |
Еще по теме:
Неионные ПАВ
Неионные ПАВ в качестве полярных групп содержат либо полиэфирные, либо по-лигидроксильные фрагменты. В подавляющем большинстве неионных ПАВ при-сутсвуют оксиэтиленовые группы, получаемые полимеризацией этиленоксида. Строго говоря, префикс «поли» употребляется неверно. Наиболее распространены ПАВ с ...
Поливинилпирролидон и его свойства
ПВП обладает уникальным комплексом физико-химических, химических и биологических свойств, ценных для его практического использования. Наличие в макромолекуле полимера лактамного цикла обеспечивает растворимость полимера в воде. ПВП представляет собой желто-белый порошок с t° размягчения ~ 140 – 160 ...
Возгонка
Возгонкой, или сублимацией, называется непосредственное превращение твердого вещества в пар без образования жидкости. Достигнув температуры возгонки, твердое вещество без плавления переходит в пар, который конденсируется в кристаллы на поверхности охлажденных предметов. Возгонка всегда происходит п ...
Идеи алхимии
Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.
Категории
- Главная
- Белки и аминокислоты
- Лечебные свойства воды
- Радиоактивный анализ
- Элементоорганические соединения
- Методы органического синтеза
- Железо и его роль
- Карта сайта