Метод газофазного осаждения
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 1. Технологическая схема получения покрытия из AlN
Таблица.1 Пленочные покрытия, которые модно получать с помощью реакций в паровой фазе.
|
Метод (основной тип реакции) |
Материал пленочного покрытия (исходные материалы) |
|
Диспропорционирование (A + AB2 ↔ 2AB) |
Al(AlI3); Ge(GeI2); Si(SiI2); соединения элементов III-IV групп (иодиды) |
|
Полимеризация (AB → nAB) |
Полимеры метилметакрилатов, стирола, дивенилбензола, бутадиена, акролиена, эпоксидных смол, аллиглицидиловых эфиров (электроннолучевое экспонирование, фотолиз, тлеющий разряд) |
|
Восстановление (AXH2→ A + HX) |
Al(AlCl3); Ti(TiBr4); Sn(SnCl4); Ta(TaCl5); Nb(NbCl5); Cr(CrCl2); Si(SiHS3 или SiCl4); Ge(GeCl4) |
|
Окисление (AXH2O → AO + HX) |
Al2O3(AlCl3); TiO2(TiCl4); Ta2O5(TaCl5); SnO2(SnCl4) |
Еще по теме:
Масс-спектрометрический и спектрофотометрический анализ
Масс-спектрометрический анализ образца ЭМФ Gd@C82 в толуоле проводили на масс спектрометре с электроспрейным ионным источником LCMS 2020 (Liquid chromatograph mass spectrometer, Shimadzu). Оптический спектр образца ЭМФ Gd@C82 в толуоле регистрировали в диапазоне длин волн от 300 до 1100 нм на спект ...
Казанская школа химии
Почти одновременно с оживлением химической жизни в Петербурге, в Казани зарождается новый химический центр, которому в недалеком будущем суждено было сыграть выдающуюся роль в деле развития как русской, так и мировой химической науки. Он был основан в 1804 году. В 1835 году преподавание химии было ...
Характеристика основных алкалоидов
Алкалоиды, составляющие основные структурные классы – пиридиновые (никотин), пиперидиновые (лобелин), тропановые (гиосциамин), хинолиновые (хинин), изохинолиновые (морфин), индольные (псилоцибин, активное начало мексиканских галлюциногенных грибов, резерпин и стрихнин), имидазольные (пилокарпин), с ...
Идеи алхимии
Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.
Категории
- Главная
- Белки и аминокислоты
- Лечебные свойства воды
- Радиоактивный анализ
- Элементоорганические соединения
- Методы органического синтеза
- Железо и его роль
- Карта сайта