Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Метод газофазного осаждения

Метод газофазного осаждения

Страница 2

Контроль за содержанием кислорода

Испарение

AlCl3

Получение покрытия из AlN

NH3

AlCl3

(тв.)

Контроль свойств покрытия

Рис. 1. Технологическая схема получения покрытия из AlN

Таблица.1 Пленочные покрытия, которые модно получать с помощью реакций в паровой фазе.

Метод

(основной тип реакции)

Материал пленочного покрытия

(исходные материалы)

Диспропорционирование

(A + AB2 ↔ 2AB)

Al(AlI3); Ge(GeI2); Si(SiI2); соединения элементов III-IV групп (иодиды)

Полимеризация

(AB → nAB)

Полимеры метилметакрилатов, стирола, дивенилбензола, бутадиена, акролиена, эпоксидных смол, аллиглицидиловых эфиров (электроннолучевое экспонирование, фотолиз, тлеющий разряд)

Восстановление

(AXH2→ A + HX)

Al(AlCl3); Ti(TiBr4); Sn(SnCl4); Ta(TaCl5); Nb(NbCl5); Cr(CrCl2); Si(SiHS3 или SiCl4); Ge(GeCl4)

Окисление

(AXH2O → AO + HX)

Al2O3(AlCl3); TiO2(TiCl4); Ta2O5(TaCl5); SnO2(SnCl4)

Страницы: 1 2 3

Еще по теме:

Физические свойства платиновых металлов
Платиновые металлы в чистом виде представляют собой порошки различных оттенков серого цвета (порошок осмия – голубоватый). В компактном состоянии рутений – белый металл со слабым голубоватым отливом; родий – серебристо-белый; палладий – белый со слабосероватым отливом; осмий – голубовато-серый; ири ...

Строение молекул эндоэдрального металлофуллерена M@C82
Атом или несколько атомов металла, внедренные внутрь фуллереновой молекулы, приводят к образованию новых стабильных изомеров углеродного каркаса, не наблюдаемых у пустых фуллеренов [2]. Как показывают результаты экспериментальных исследований, структура и свойства ЭМФ отличаются большим разнообрази ...

Кобальт
Кобальт - биологически важный элемент. В малых дозах он активизирует ряд ферментов, регулирующих тканевое дыхание, кроветворение, в больших - угнетает. Под влиянием кобальта изменяется строение и функция щитовидной железы вследствие общего нарушения окислительных процессов. Действует на углеводный ...

Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Метод газофазного осаждения

Еще по теме:

Идеи алхимии

Категории