Новая химия » Электрохимическое осаждение пленок » Метод газофазного осаждения

Метод газофазного осаждения

Страница 2

Контроль за содержанием кислорода

Испарение

AlCl3

Получение покрытия из AlN

NH3

H2

AlCl3

(тв.)

Контроль свойств покрытия

Рис. 1. Технологическая схема получения покрытия из AlN

Таблица.1 Пленочные покрытия, которые модно получать с помощью реакций в паровой фазе.

Метод

(основной тип реакции)

Материал пленочного покрытия

(исходные материалы)

Диспропорционирование

(A + AB2 ↔ 2AB)

Al(AlI3); Ge(GeI2); Si(SiI2); соединения элементов III-IV групп (иодиды)

Полимеризация

(AB → nAB)

Полимеры метилметакрилатов, стирола, дивенилбензола, бутадиена, акролиена, эпоксидных смол, аллиглицидиловых эфиров (электроннолучевое экспонирование, фотолиз, тлеющий разряд)

Восстановление

(AXH2→ A + HX)

Al(AlCl3); Ti(TiBr4); Sn(SnCl4); Ta(TaCl5); Nb(NbCl5); Cr(CrCl2); Si(SiHS3 или SiCl4); Ge(GeCl4)

Окисление

(AXH2O → AO + HX)

Al2O3(AlCl3); TiO2(TiCl4); Ta2O5(TaCl5); SnO2(SnCl4)

Страницы: 1 2 3

Еще по теме:

Свойства и применение полиолефинов. Свойства и применение полипропилена
Полипропилен в отличие от полиэтилена и сополимеров этилена является более легким, жестким и прозрачным полимером, обладающим блеском и высокими механическими свойствами (наилучшая среди термопластов прочность при изгибе). Полипропилен обладает высокой пространственной регулярностью, приводящей к к ...

Гидроочистка
Гидроочистка проводится с целью удаления из нефтяных фракций таких нежелательных компонентов, как сера, азот, кислород и металлорганические соединения, а также для гидрирования олефинов и диеновых углеводородов. В некоторых случаях улучшения качества топливных дистиллятов требуется также гидрирован ...

Определение содержания хлор-иона титрованием азотнокислым серебром
2.1. Сущность метода Метод основан на осаждении хлор-иона в нейтральной или слабощелочной среде азотнокислым серебром в присутствии хромовокислого калия в качестве индикатора. После осаждения хлорида серебра в точке эквивалентности образуется хромовокислое серебро, при этом желтая окраска раствора ...

Идеи алхимии


Идеи алхимии

Алхимия - своеобразное явление культуры, особенно широко распространённое в Западной Европе в эпоху позднего средневековья. Слово «алхимия» производят от арабского алькимия, которое восходит к греческому chemeia, от cheo — лью, отливаю.

Категории

Copyright © 2018 - All Rights Reserved - www.chemitradition.ru
Copyright © 2025 - All Rights Reserved - www.chemitradition.ru